Micro pó de carboneto de silício
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O micro pó de carboneto de silício é feito de carboneto de silício por equipamento de trituração. No entanto, no processo de fundição e trituração de carboneto de silício, é inevitável que várias impurezas sejam misturadas. Essas impurezas terão um grande impacto na qualidade dos produtos processados e no desempenho dos dispositivos semicondutores fabricados durante o uso de silício pó de carboneto, aumentando a taxa de produtos defeituosos e reduzindo a qualidade do processamento da superfície dos produtos processados. Portanto, o problema da remoção de impurezas no pó de carboneto de silício deve ser resolvido.

As impurezas do pó de carboneto de silício incluem principalmente carbono, óxido férrico, óxido de alumínio, óxido de cálcio, óxido de magnésio e dióxido de silício. Quando essas substâncias são utilizadas para diferentes finalidades no pó de carboneto de silício, elas têm efeitos diferentes, entre os quais o Fe2O3 é o principal. Para remover as impurezas no pó de carboneto de silício, pode ser adicionado ácido para remover as impurezas no processo de produção. Este método tem baixo custo e alta taxa de remoção de impurezas, o que é apreciado pelos fabricantes de pó de carboneto de silício.
