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Breve introdução aos alvos de pulverização catódica de zircônio

Breve introdução aos alvos de pulverização catódica de zircônio


O zircônio (Zr) é um metal prateado com densidade de 6,52 g/cm3. O Zr tem uma seção transversal de absorção de nêutrons muito pequena e um ponto de fusão relativamente alto (1.855 graus ou 3.371 graus F), tornando-o um excelente material para barras de energia nuclear. Esponja de zircônio e bastões de cristal são as matérias-primas para a fabricação de alvos de pulverização catódica. Embora a esponja de zircônio seja barata e de baixa pureza, ela possui um alto teor de oxigênio. As hastes de cristal de zircônio são mais caras e possuem maior pureza, tornando-as materiais ideais para alvos de pulverização catódica.


Tanto o Zr quanto o Hf podem ser usados ​​na indústria nuclear. No entanto, eles possuem características diferentes em termos de captura de nêutrons. Embora tenham muitas propriedades semelhantes, eles precisam ser separados por extração líquida ou destilação com sal fundido. Oferecemos dois tipos de alvos de zircônio de alta pureza: baixo teor de háfnio (250ppm ou 0,025%) e alto teor de háfnio.

 

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Alvo de pulverização catódica de zircônio de alta pureza para deposição de filme fino

 

 

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